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Zone de Plasma 700 mm x 226 mm

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2450 (1)
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Matrice de sources plasma (grande surface) (1)
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Zone de Plasma 700 mm x 226 mm (1)
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Céramique (1)
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Gravure et Dépôt (Revêtement) (1)
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2x 3000 (1)
1 Produits en
Zone de Plasma 700 mm x 226 mm
  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Numéro de poste: MA6000Y-013BC

    Processus
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Type de connexion de sortie
    Zone de Plasma 700 mm x 226 mm
    Matériau Diélectrique
    Céramique
    Puissance de sortie [W]
    2x 3000
    Fréquence [MHz]
    2450
    Système de distribution de gaz
    Double

    Flächenplasmaquelle