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Zone de Plasma 797,5 mm x 150 mm

Zone de Plasma 797,5 mm x 150 mm
  • Matrice de sources plasma (grande surface)

    Numéro de poste: MA6000Y-023BC

    Processus
    Gravure et Dépôt (Revêtement)
    Type de connexion de sortie
    Zone de Plasma 797,5 mm x 150 mm
    Matériau Diélectrique
    Céramique
    Puissance de sortie [W]
    2x 3000
    Fréquence [MHz]
    2450
    Système de distribution de gaz
    Double

    Flächenplasmaquelle

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