Muegge Produits
Céramique
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Matrice de sources plasma (grande surface)
Numéro de poste: MA6000Y-033BC
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieZone de Plasma 520 mm x 340 mmMatériau DiélectriqueCéramiquePuissance de sortie [W]2x 3000Fréquence [MHz]2450Système de distribution de gazDoubleFlächenplasmaquelle
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Source plasma à radicaux (Remote plasma Source)
Numéro de poste: MA1250C-003BC
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieMatériau DiélectriqueCéramiqueTension d\'alimentation Nominal [V]230 / 208Puissance de sortie [W]1250Fréquence [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Source plasma à radicaux (Remote plasma Source)
Numéro de poste: MA2000C-083BB
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieMatériau DiélectriqueCéramiqueTension d\'alimentation Nominal [V]230 / 208Puissance de sortie [W]2000Fréquence [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Source plasma à radicaux (Remote plasma Source)
Numéro de poste: MA2000C-123BB
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieMatériau DiélectriqueCéramiqueTension d\'alimentation Nominal [V]230 / 208Puissance de sortie [W]2000Fréquence [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Source plasma à radicaux (Remote plasma Source)
Numéro de poste: MA2000C-133BB
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieMatériau DiélectriqueCéramiqueTension d\'alimentation Nominal [V]230 / 208Puissance de sortie [W]2000Fréquence [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Source plasma à radicaux (Remote plasma Source)
Numéro de poste: MA2000C-223BB
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieMatériau DiélectriqueCéramiqueTension d\'alimentation Nominal [V]230 / 208Puissance de sortie [W]2000Fréquence [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Source plasma à radicaux (Remote plasma Source)
Numéro de poste: MA2000C-233BB
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieMatériau DiélectriqueCéramiqueTension d\'alimentation Nominal [V]230 / 208Puissance de sortie [W]2000Fréquence [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Source plasma à radicaux (Remote plasma Source)
Numéro de poste: MA2000C-703BB
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieMatériau DiélectriqueCéramiqueTension d\'alimentation Nominal [V]230 / 208Puissance de sortie [W]2000Fréquence [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)