Muegge Produits
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Down-Streem-Plasma-Source
Numéro de poste: MA100KD-013BF
ProcessusTransformation des Gaz/MatériauxType de connexion de sortieAutresMatériau Diélectrique-Puissance de sortie [W]100000Fréquence [MHz]915Taille du guide d\'ondesWR975 / R9Réacteur Quantité de production- -
Matrice de sources plasma (grande surface)
Numéro de poste: MA4000Y-013BC
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieZone de Plasma 320 mm x 320 mmMatériau DiélectriqueCéramiquePuissance de sortie [W]2000Fréquence [MHz]2450Système de distribution de gazSimpleFlächenplasmaquelle
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Matrice de sources plasma (grande surface)
Numéro de poste: MA4000Y-083BC
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieZone de Plasma 320 mm x 320 mmMatériau DiélectriqueCéramiquePuissance de sortie [W]3000Fréquence [MHz]2450Système de distribution de gazSimpleFlächenplasmaquelle
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Matrice de sources plasma (grande surface)
Numéro de poste: MA4000Y-093BC
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieZone de Plasma 320 mm x 320 mmMatériau DiélectriqueCéramiquePuissance de sortie [W]2000Fréquence [MHz]2450Système de distribution de gazSimpleFlächenplasmaquelle
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Matrice de sources plasma (grande surface)
Numéro de poste: MA4000Y-103BC
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieZone de Plasma 338 mm x 408 mmMatériau DiélectriqueCéramiquePuissance de sortie [W]2x 2000Fréquence [MHz]2450Système de distribution de gazSimpleFlächenplasmaquelle
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Matrice de sources plasma (grande surface)
Numéro de poste: MA4000Y-123BC
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieZone de Plasma 320 mm x 320 mmMatériau DiélectriqueCéramiquePuissance de sortie [W]2000Fréquence [MHz]2450Système de distribution de gazSimpleFlächenplasmaquelle
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Matrice de sources plasma (grande surface)
Numéro de poste: MA4000Y-153BC
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieZone de Plasma 320 mm x 320 mmMatériau DiélectriqueCéramiquePuissance de sortie [W]2000Fréquence [MHz]2450Système de distribution de gazDoubleFlächenplasmaquelle
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Matrice de sources plasma (grande surface)
Numéro de poste: MA6000Y-013BC
ProcessusGravure et Dépôt (Revêtement)Type de connexion de sortieZone de Plasma 700 mm x 226 mmMatériau DiélectriqueCéramiquePuissance de sortie [W]2x 3000Fréquence [MHz]2450Système de distribution de gazDoubleFlächenplasmaquelle