{"id":24751,"date":"2022-03-15T15:43:23","date_gmt":"2022-03-15T14:43:23","guid":{"rendered":"https:\/\/stage.muegge.de\/duo-plasmaline-for-green-technology\/"},"modified":"2022-03-15T17:16:54","modified_gmt":"2022-03-15T16:16:54","slug":"duo-plasmaline-pour-une-technologie-verte","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/muegge-group.com\/fr\/duo-plasmaline-pour-une-technologie-verte\/","title":{"rendered":"Duo-Plasmaline pour une technologie verte: Toujours une longueur d\u00b4avance en productivit\u00e9 et en rendement"},"content":{"rendered":"\t\t
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Les syst\u00e8mes Duo-Plasmaline au service de vos applications d’\u00e9nergie durable<\/h2>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
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Tout le monde veut vivre sur une plan\u00e8te plus saine\u00a0; les chercheurs de toutes les industries travaillent pour inventer un avenir plus durable. Pourtant, dans de nombreux cas, l’efficacit\u00e9, la qualit\u00e9 et la mise \u00e0 l\u2019\u00e9chelle des technologies vertes, telles que pour les batteries de voiture \u00e0 z\u00e9ro \u00e9mission ou les panneaux photovolta\u00efques flexibles, peuvent encore \u00eatre am\u00e9lior\u00e9es.<\/p>

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Les sources plasma micro-ondes Duo-Plasmaline et Plasma Array de Muegge permettent aux innovateurs de passer \u00e0 la vitesse sup\u00e9rieure en mati\u00e8re de processus et de modifications de surface dans le domaine de la production et du stockage de l’\u00e9nergie durable. Si vous voulez comprendre en profondeur les Pourquois et les Comments de cette technologie, cette revue d’experts vous explique comment les sources plasma micro-ondes Duo-Plasmaline et Plasma Array permettent la production des plasmas avec des densit\u00e9s \u00e9lev\u00e9es et tr\u00e8s bonne homog\u00e9n\u00e9it\u00e9 sur une grande surface ainsi que les strat\u00e9gies de mise \u00e0 l’\u00e9chelle.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t

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1. G\u00e9n\u00e9ration d'un plasma homog\u00e8ne : L\u00e0 o\u00f9 les autres syst\u00e8mes \u00e9chouent<\/h4>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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L \u2018excitation du plasma par micro-ondes \u00e0 basse pression repose sur l’acc\u00e9l\u00e9ration des \u00e9lectrons libres dans le champ \u00e9lectrique des micro-ondes\u00a0; id\u00e9alement les \u00e9lectrons entrent en collision les uns avec les autres et avec des autres esp\u00e8ces neutres ou ionis\u00e9es, d\u00e9clenchent un effet d’avalanche qui forme le plasma. La pression du gaz plasmag\u00e8ne est un param\u00e8tre important de ce processus : \u00e0 basse pression, le libre parcours moyen des \u00e9lectrons libres acc\u00e9l\u00e9r\u00e9s est nettement plus court que les dimensions de la chambre \u00e0 vide et un plasma non-\u00e9quilibre se forme, caract\u00e9ris\u00e9 par des neutres et des ions \u00e0 temp\u00e9rature ambiante et par des \u00e9lectrons libres acc\u00e9l\u00e9r\u00e9s “chauds”. Lorsque la pression dans la chambre \u00e0 vide est encore r\u00e9duite de mani\u00e8re que le parcours moyen des \u00e9lectrons libres soit dans la gamme des dimensions de la chambre \u00e0 vide, la probabilit\u00e9 de collisions des \u00e9lectrons libres avec les parois de la chambre augmente significativement, inhibant ainsi l’effet d’avalanche, un \u00e9l\u00e9ment essentiel pour former et maintenir un plasma.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t

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\"R\u00e9duire ou augmenter la pression du gaz dans le mauvais sens peut emp\u00eacher la formation ou le maintien d'un plasma.\"<\/h4>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
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L’augmentation de la pression permet le transfert d’\u00e9nergie vers les particules lourdes comme les neutres et les ions, entra\u00eenant une thermalisation progressive du plasma. En cons\u00e9quence, la temp\u00e9rature du gaz plasmag\u00e8ne augmente. De plus, en maintenant l’\u00e9nergie micro-onde constante par l’augmentation de la densit\u00e9 de particules, l’\u00e9nergie d’excitation ne sera plus suffisante pour maintenir le volume du plasma, ce qui entra\u00eene la formation de filaments de plasma et son extinction.<\/p>

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Finalement, l’augmentation de la densit\u00e9 \u00e9lectronique \u00e0 pression constante inhibe la propagation des micro-ondes. A la densit\u00e9 dite critique, les micro-ondes ne peuvent plus p\u00e9n\u00e9trer dans le plasma et sont r\u00e9fl\u00e9chies – le plasma se comporte comme une paroi conductrice.<\/p>

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N.B. La densit\u00e9 critique est proportionnelle au carr\u00e9 de la fr\u00e9quence de l’onde \u00e9lectromagn\u00e9tique.<\/p>

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2. Pour une productivit\u00e9 accrue et la mise \u00e0 l'\u00e9chelle - Duo-Plasmaline est la solution<\/h4>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Sur la base des principes expliques ci-dessus, de nombreuses sources de plasma micro-ondes ont \u00e9t\u00e9 con\u00e7ues afin d’utiliser la densit\u00e9 \u00e9lev\u00e9e des radicaux sp\u00e9cifique aux plasmas micro-ondes. Cependant, diff\u00e9rents facteurs i.e., la formation de modes de propagation sp\u00e9cifiques, d’ondes stationnaires, la longueur d’onde sous vide qui peut avoir les m\u00eames dimensions g\u00e9om\u00e9triques que le mat\u00e9riau \u00e0 traiter, peuvent conduire \u00e0 un traitement plasma non homog\u00e8ne du substrat. La mise \u00e0 l’\u00e9chelle des sources de plasma micro-ondes pour les grands substrats est un d\u00e9fi important. Les sources de plasma micro-ondes de Muegge, Duo-Plasmaline et la matrice de sources plasmas – Plasma Array (bas\u00e9 sur la source Duo-Plasmaline) r\u00e9pondent parfaitement \u00e0 ces d\u00e9fis.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t

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3. Augmenter la qualit\u00e9 de vos produits - Duo-Plasmaline pour un plasma homog\u00e8ne <\/h4>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Le Duo-Plasmaline est une source de plasma micro-ondes \u00e0 basse pression. Le plasma est form\u00e9 seulement par excitation micro-ondes, c’est-\u00e0-dire sans l’application d’un champ magn\u00e9tique suppl\u00e9mentaire. Pour simplifier, la source plasma Duo-Plasmaline est un tube fluorescent invers\u00e9 excit\u00e9 par les micro-ondes : une ligne coaxiale est mont\u00e9e \u00e0 travers une enceinte \u00e0 vide (la chambre de traitement) con\u00e7ue dans un mat\u00e9riau \u00e9lectriquement conducteur et aliment\u00e9e par des micro-ondes des deux c\u00f4t\u00e9s. \u00c0 l’int\u00e9rieur de l’enceinte \u00e0 vide, le conducteur coaxial ext\u00e9rieur est remplac\u00e9 par un tube di\u00e9lectrique e.g., verre, quartz ou c\u00e9ramique. L’int\u00e9rieur du tube di\u00e9lectrique est maintenu \u00e0 la pression atmosph\u00e9rique, tandis que l’ext\u00e9rieur (l’enceinte \u00e0 vide) est \u00e0 basse pression, de pr\u00e9f\u00e9rence comprise entre 10 Pa et 1000 Pa. Les micro-ondes peuvent traverser le tube di\u00e9lectrique pour se propager dans l\u2019enceinte \u00e0 vide. Lorsque l’intensit\u00e9 du champ \u00e9lectrique des micro-ondes d\u00e9passe l’intensit\u00e9 du champ de claquage du gaz plasmag\u00e8ne, une d\u00e9charge s’allume dans le r\u00e9gime de basse pression aux deux extr\u00e9mit\u00e9s de la source Duo-Plasmaline, l\u00e0 o\u00f9 le conducteur coaxial ext\u00e9rieur est remplac\u00e9 par le tube di\u00e9lectrique. Les \u2018tubes\u2019 courts de plasma form\u00e9s aux deux extr\u00e9mit\u00e9s de la Duo-Plasmaline sont des milieux \u00e9lectriquement conducteurs et remplacent ainsi le conducteur coaxial ext\u00e9rieur. Avec l’augmentation de la puissance micro-ondes, le plasma s’\u00e9tend des deux extr\u00e9mit\u00e9s le long du tube di\u00e9lectrique, jusqu’\u00e0 ce qu’un plasma axialement homog\u00e8ne soit form\u00e9 (voir figure 1).<\/p>

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Figure 1 : Plasma axialement homog\u00e8ne form\u00e9 autour de la source de plasma micro-ondes basse pression Duo-Plasmaline [1]<\/h6>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
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La formation d’un plasma basse pression axialement homog\u00e8ne autour d’une Duo-Plasmaline de longueurs de plus de 3 m a \u00e9t\u00e9 d\u00e9montr\u00e9e pour des applications utilisant seulement quelques kW de puissance micro-ondes \u00e0 la fr\u00e9quence de 2,45 GHz.<\/p>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t

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4. La combinaison des puissances - Duo Plasmaline et Plasma Array pour un traitement de surface tr\u00e8s efficace<\/h4>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Une matrice de plasma – Plasma Array – est obtenue en disposant \u00e0 \u00e9quidistance deux ou plusieurs Duo-Plasmalines parall\u00e8les. Alors qu’une Duo-Plasmaline fournit un plasma axialement homog\u00e8ne, la source Plasma Array g\u00e9n\u00e8re un plasma large et homog\u00e8ne (voir figure 2). Par cons\u00e9quent, une Duo-Plasmaline est de pr\u00e9f\u00e9rence utilis\u00e9e pour le traitement de surface dans des proc\u00e9d\u00e9s continus en ligne, tandis qu’une Plasma Array convient aux proc\u00e9d\u00e9s continus et discontinus. La Duo-Plasmaline et la Plasma Array permettent tous deux un traitement de surface tr\u00e8s efficace, m\u00eame pour les mat\u00e9riaux thermosensibles, en raison de la forte densit\u00e9 de radicaux \u00e0 faible \u00e9nergie caract\u00e9ristique au plasma micro-ondes non-\u00e9quilibre \u00e0 basse pression.<\/p>

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Figure 2 : Plasma homog\u00e8ne bidimensionnel form\u00e9 par une source Plasma Array \u00e0 basse pression [2]<\/h6>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
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5. Personnalisez les dimensions de votre surface - Mise \u00e0 l'\u00e9chelle de la zone plasma en largeur et en longueur<\/h4>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Gr\u00e2ce \u00e0 sa conception modulaire, la source Plasma Array s’adapte facilement aux dimensions du substrat par simple configuration du nombre et de la longueur des Duo-Plasmalines. Ainsi, la surface active du plasma peut \u00eatre ajust\u00e9e en largeur et en longueur.<\/p>

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Figure 3 : Sch\u00e9ma d’une source Plasma Array compos\u00e9e de quatre Duo-Plasmalines pour le traitement par plasma d\u2019un substrat (la surface verte) \u00e0 basse pression<\/h6>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
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La figure 3 pr\u00e9sente un sch\u00e9ma d’une source Plasma Array compos\u00e9e de quatre Duo-Plasmalines dans une chambre de traitement de surface par plasma \u00e0 basse pression. Les quatre Duo-Plasmalines sont aliment\u00e9es en \u00e9nergie micro-ondes par la gauche et par la droite, par deux magn\u00e9trons de chaque c\u00f4t\u00e9. Chaque magn\u00e9tron envoie les micro-ondes \u00e0 deux Duo-Plasmalines via un diviseur de puissance. La r\u00e9partition de la puissance de mani\u00e8re \u00e9gale sur deux ou plusieurs Duo-Plasmalines garantit la meilleure homog\u00e9n\u00e9it\u00e9 de traitement sur le substrat.<\/p>

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La Figure 4 montre une source Plasma Array compos\u00e9e de six Duo-Plasmalines d’une longueur de 160 cm chacune, formant ainsi une zone de plasma actif d’environ 150 cm x 200 cm avec des applications, par exemple, dans le rev\u00eatement antireflet en nitrure de silicium de cellules solaires.<\/p>

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Figure 4 : Plasma Array compos\u00e9e de six Duo-Plasmalines int\u00e9gr\u00e9es dans une chambre de traitement pour, par exemple, le d\u00e9p\u00f4t par plasma \u00e0 basse pression de couches minces utilis\u00e9s dans la production de cellules solaires (offert par Meyer Burger Allemagne)<\/h6>\t\t\t\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/div>\n\t\t\t\t\t<\/div>\n\t\t<\/section>\n\t\t\t\t
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6. Des possibilit\u00e9s ouvertes pour des applications innovantes - Duo-Plasmalines et Plasma Array <\/h4>\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t<\/div>\n\t\t\t\t
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Outre que le d\u00e9p\u00f4t de couches minces, les Duo-Plasmalines et les Plasma Arrays sont \u00e9galement utilis\u00e9es pour le traitement de surface assist\u00e9 par plasma, par exemple, l’activation de surface, la gravure, le nettoyage et m\u00eame la st\u00e9rilisation. Aujourd’hui et pour l’avenir, cette technologie passionnante offre un large \u00e9ventail de proc\u00e9d\u00e9s r\u00e9volutionnaires pour la production et le stockage d’\u00e9nergie durable. Parmi les applications le plus passionnantes de plasma micro-ondes non-\u00e9quilibre \u00e0 basse pression, on cite le d\u00e9p\u00f4t de nanofils de silicium pour les nouvelles batteries lithium-ion et les modifications de surface dans la technologie des piles \u00e0 combustible.<\/p>

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Nous vous invitons \u00e0 d\u00e9couvrir des cas pratiques et des exemples de Duo-Plasmaline et de Plasma Arrary sur notre page d\u2019accueil. Contactez-nous pour d\u00e9couvrir comment vous pouvez les utiliser pour renforcer vos innovations et vos d\u00e9veloppements de produits.<\/p>

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Bibliographie:<\/strong><\/p>

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Les syst\u00e8mes Duo-Plasmaline au service de vos applications d’\u00e9nergie durable Tout le monde veut vivre sur une plan\u00e8te plus saine\u00a0; les chercheurs de toutes les industries travaillent pour inventer un avenir plus durable. Pourtant, dans de nombreux cas, l’efficacit\u00e9, la qualit\u00e9 et la mise \u00e0 l\u2019\u00e9chelle des technologies vertes, telles que pour les batteries de […]<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[5347,4448,4450],"tags":[6543,6103,6104,6544,6545],"class_list":["post-24751","post","type-post","status-publish","format-standard","hentry","category-power-to-x-applications-en-fr","category-semi-conducteurs","category-technologie-micro-ondes","tag-dou-plasmaline-fr","tag-microwaves-fr","tag-mikrowelle-en-fr","tag-muegge-blog-en-fr","tag-plasma-fr"],"acf":[],"yoast_head":"\nDuo-Plasmaline pour une technologie verte: Toujours une longueur d\u00b4avance en productivit\u00e9 et en rendement - Muegge<\/title>\n<meta name=\"description\" content=\"How Duo-Plasmaline systems bring power to your sustainable energy applications %\" \/>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/muegge-group.com\/fr\/duo-plasmaline-pour-une-technologie-verte\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"fr_FR\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"Duo-Plasmaline pour une technologie verte: Toujours une longueur d\u00b4avance en productivit\u00e9 et en rendement - 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