Muegge 제품
세라믹
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플라즈마 어레이(대면적)
제품 번호 : MA6000Y-033BC
방법에칭 및 증착출력 연결 유형플라즈마 영역 520 mm x 340 mm유전체 재료세라믹출력 전력 CW [W]2x 3000Frequenz [MHz]2450가스 매니폴드더블Flächenplasmaquelle
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라디칼 플라즈마 소스(원격 플라즈마 소스)
제품 번호 : MA1250C-003BC
방법에칭 및 증착출력 연결 유형유전체 재료세라믹정격 주 전압 [V]230 / 208출력 전력 CW [W]1250Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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라디칼 플라즈마 소스(원격 플라즈마 소스)
제품 번호 : MA2000C-083BB
방법에칭 및 증착출력 연결 유형유전체 재료세라믹정격 주 전압 [V]230 / 208출력 전력 CW [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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라디칼 플라즈마 소스(원격 플라즈마 소스)
제품 번호 : MA2000C-123BB
방법에칭 및 증착출력 연결 유형유전체 재료세라믹정격 주 전압 [V]230 / 208출력 전력 CW [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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라디칼 플라즈마 소스(원격 플라즈마 소스)
제품 번호 : MA2000C-133BB
방법에칭 및 증착출력 연결 유형유전체 재료세라믹정격 주 전압 [V]230 / 208출력 전력 CW [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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라디칼 플라즈마 소스(원격 플라즈마 소스)
제품 번호 : MA2000C-223BB
방법에칭 및 증착출력 연결 유형유전체 재료세라믹정격 주 전압 [V]230 / 208출력 전력 CW [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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라디칼 플라즈마 소스(원격 플라즈마 소스)
제품 번호 : MA2000C-233BB
방법에칭 및 증착출력 연결 유형유전체 재료세라믹정격 주 전압 [V]230 / 208출력 전력 CW [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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라디칼 플라즈마 소스(원격 플라즈마 소스)
제품 번호 : MA2000C-703BB
방법에칭 및 증착출력 연결 유형유전체 재료세라믹정격 주 전압 [V]230 / 208출력 전력 CW [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)