Muegge 제품

208

208
  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA0000D-001BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    208
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    -
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    2
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA1250D-110BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    208
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    -
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    2
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA1250D-115BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    208
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    -
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    2
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
  • 전원 공급 장치

    제품 번호 : MX2000D-170KL

    Frequenz [MHz]
    2450
    출력 전력 CW [W]
    2000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    주전원 전압 [V]
    208
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    주전원 주파수 [Hz]
    50 / 60
    냉각
    공기 / 물
    최대 펄스 출력 전력[W]
    2000
    전면 패널 (HMI)
    메인 스위치가 있는 장치
    고객 인터페이스
    전면 디스플레이
    고객 인터페이스 2
    CAN-Bus
    고객 인터페이스 3
    A/D
    고객 인터페이스 4
    -
    고객 인터페이스 5
    -
    너비 [mm (인치)]
    484 (19,06)
    높이 [mm (인치)]
    128 (5,04)
    깊이 [mm (인치)]
    607 (23,90)
    보호
    IP20
    아이솔레이터
    아니
    마그네트론 헤드 관련
    MH2000S-250BF, MH2000S-251BF, MH2000S-252BF
    전원 공급 기술
    모드 전환
  • 전원 공급 장치

    제품 번호 : MX2000D-173KL

    Frequenz [MHz]
    2450
    출력 전력 CW [W]
    2000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    주전원 전압 [V]
    208
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    주전원 주파수 [Hz]
    50 / 60
    냉각
    공기 / 물
    최대 펄스 출력 전력[W]
    -
    전면 패널 (HMI)
    메인 스위치가 있는 장치
    고객 인터페이스
    전면 디스플레이
    고객 인터페이스 2
    CAN-Bus
    고객 인터페이스 3
    A/D
    고객 인터페이스 4
    -
    고객 인터페이스 5
    -
    너비 [mm (인치)]
    484 (19,06)
    높이 [mm (인치)]
    128 (5,04)
    깊이 [mm (인치)]
    607 (23,90)
    보호
    IP20
    아이솔레이터
    아니
    마그네트론 헤드 관련
    MH2000S-250BF, MH2000S-251BF, MH2000S-252BF
    전원 공급 기술
    모드 전환
  • 전원 공급 장치

    제품 번호 : MX3000D-170KL

    Frequenz [MHz]
    2450
    출력 전력 CW [W]
    3000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    주전원 전압 [V]
    208
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    주전원 주파수 [Hz]
    50 / 60
    냉각
    공기 / 물
    최대 펄스 출력 전력[W]
    3000
    전면 패널 (HMI)
    메인 스위치가 있는 장치
    고객 인터페이스
    전면 디스플레이
    고객 인터페이스 2
    CAN-Bus
    고객 인터페이스 3
    A/D
    고객 인터페이스 4
    -
    고객 인터페이스 5
    -
    너비 [mm (인치)]
    484 (19,06)
    높이 [mm (인치)]
    128 (5,04)
    깊이 [mm (인치)]
    607 (23,90)
    보호
    IP20
    아이솔레이터
    아니
    마그네트론 헤드 관련
    MH3000S-250BF, MH3000S-251BF, MH3000S-252BF
    전원 공급 기술
    모드 전환
  • 전원 공급 장치

    제품 번호 : MX3000D-173KL

    Frequenz [MHz]
    2450
    출력 전력 CW [W]
    3000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    주전원 전압 [V]
    208
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    주전원 주파수 [Hz]
    50 / 60
    냉각
    공기 / 물
    최대 펄스 출력 전력[W]
    -
    전면 패널 (HMI)
    메인 스위치가 있는 장치
    고객 인터페이스
    전면 디스플레이
    고객 인터페이스 2
    CAN-Bus
    고객 인터페이스 3
    A/D
    고객 인터페이스 4
    -
    고객 인터페이스 5
    -
    너비 [mm (인치)]
    484 (19,06)
    높이 [mm (인치)]
    128 (5,04)
    깊이 [mm (인치)]
    607 (23,90)
    보호
    IP20
    아이솔레이터
    아니
    마그네트론 헤드 관련
    MH3000S-250BF, MH3000S-251BF, MH3000S-252BF
    전원 공급 기술
    모드 전환
  • 전원 공급 장치

    제품 번호 : MX6000D-150KG

    Frequenz [MHz]
    2450
    출력 전력 CW [W]
    6000
    전원 연결
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    주전원 연결 제어 회로
    주전원 전압 [V]
    208
    주전원 전압 제어 회로 [V]
    주전원 주파수 [Hz]
    50 / 60
    냉각
    공기 / 물
    최대 펄스 출력 전력[W]
    6000
    전면 패널 (HMI)
    메인 스위치가 있는 장치
    고객 인터페이스
    전면 디스플레이
    고객 인터페이스 2
    CAN-Bus
    고객 인터페이스 3
    A/D
    고객 인터페이스 4
    RS-232
    고객 인터페이스 5
    -
    너비 [mm (인치)]
    484 (19,06)
    높이 [mm (인치)]
    128 (5,04)
    깊이 [mm (인치)]
    607 (23,90)
    보호
    IP20
    아이솔레이터
    아니
    마그네트론 헤드 관련
    MH6000S-250BF, MH6000S-251BF
    전원 공급 기술
    모드 전환