Muegge 제품

CF4

CF4
  • 캡슐화 장비

    제품 번호 : MA3000D-241BB

    도구유형
    양산용 장비
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    O2
    공정 가스 3
    CF4
    공정 가스 4
    N2H2
    공정 가스 5
    SF6
    공정 가스 6
    N2
    온도 센서
    -
    챔버 크기[mm(인치)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    자세한 내용은
  • 캡슐화 장비

    제품 번호 : MA3000D-281BB

    도구유형
    양산용 장비
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2H2
    공정 가스 3
    CF4
    공정 가스 4
    N2
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    -
    챔버 크기[mm(인치)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    자세한 내용은
  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA1250D-117BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2
    공정 가스 3
    CF4
    공정 가스 4
    -
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    2
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    자세한 내용은
  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA1250D-118BB

    도구유형
    R&D /파일럿 생산 장비
    주전원 전압 [V]
    480
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    N2
    공정 가스 3
    CF4
    공정 가스 4
    N2
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    2
    챔버 크기[mm(인치)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    자세한 내용은