Muegge 제품

O2

O2
  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA3000D-201BB

    도구유형
    양산용 장비
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    CF4
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    O2
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    9
    챔버 크기[mm(인치)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA3000D-271BB

    도구유형
    양산용 장비
    주전원 전압 [V]
    480
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    CF4
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    O2
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    9
    챔버 크기[mm(인치)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
  • 스트리핑 장비

    제품 번호 : MA3000D-291BB

    도구유형
    양산용 장비
    주전원 전압 [V]
    400
    공정 가스 1
    O2
    공정 가스 2
    CF4
    공정 가스 3
    N2
    공정 가스 4
    O2
    공정 가스 5
    -
    공정 가스 6
    -
    온도 센서
    9
    챔버 크기[mm(인치)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)