1.0Mueggehttps://muegge-group.com/ko/dkern_xmv2zo03https://muegge-group.com/ko/author/dkern_xmv2zo03/마이크로웨이브 및 챔버 세척 - Mueggerich600338<blockquote class="wp-embedded-content" data-secret="MitePOPkxZ"><a href="https://muegge-group.com/ko/microwave-and-chamber-clean/">마이크로웨이브 및 챔버 세척</a></blockquote><iframe sandbox="allow-scripts" security="restricted" src="https://muegge-group.com/ko/microwave-and-chamber-clean/embed/#?secret=MitePOPkxZ" width="600" height="338" title="“마이크로웨이브 및 챔버 세척” — Muegge" data-secret="MitePOPkxZ" frameborder="0" marginwidth="0" marginheight="0" scrolling="no" class="wp-embedded-content"></iframe><script type="text/javascript">
/* <![CDATA[ */
/*! This file is auto-generated */
!function(d,l){"use strict";l.querySelector&&d.addEventListener&&"undefined"!=typeof URL&&(d.wp=d.wp||{},d.wp.receiveEmbedMessage||(d.wp.receiveEmbedMessage=function(e){var t=e.data;if((t||t.secret||t.message||t.value)&&!/[^a-zA-Z0-9]/.test(t.secret)){for(var s,r,n,a=l.querySelectorAll('iframe[data-secret="'+t.secret+'"]'),o=l.querySelectorAll('blockquote[data-secret="'+t.secret+'"]'),c=new RegExp("^https?:$","i"),i=0;i<o.length;i++)o[i].style.display="none";for(i=0;i<a.length;i++)s=a[i],e.source===s.contentWindow&&(s.removeAttribute("style"),"height"===t.message?(1e3<(r=parseInt(t.value,10))?r=1e3:~~r<200&&(r=200),s.height=r):"link"===t.message&&(r=new URL(s.getAttribute("src")),n=new URL(t.value),c.test(n.protocol))&&n.host===r.host&&l.activeElement===s&&(d.top.location.href=t.value))}},d.addEventListener("message",d.wp.receiveEmbedMessage,!1),l.addEventListener("DOMContentLoaded",function(){for(var e,t,s=l.querySelectorAll("iframe.wp-embedded-content"),r=0;r<s.length;r++)(t=(e=s[r]).getAttribute("data-secret"))||(t=Math.random().toString(36).substring(2,12),e.src+="#?secret="+t,e.setAttribute("data-secret",t)),e.contentWindow.postMessage({message:"ready",secret:t},"*")},!1)))}(window,document);
//# sourceURL=https://muegge-group.com/wp-includes/js/wp-embed.min.js
/* ]]> */
</script>
유전체 증착 후 챔버 세척 – 등방성 마이크로웨이브 플라즈마의 경우 증착은 반도체 생산의 기둥 중 하나이므로 제어되고 반복 가능하며 깨끗한 환경에 의존합니다. 증착 공정의 한 가지 문제는 증착이 기판뿐만 아니라 챔버 벽에서도 발생한다는 것입니다. 이것은 입자와 오염의 영구적 인 위협입니다. 따라서 공정 챔버의 완전하고 반복 가능한 세척은 중요한 치수가 까다로운 물리적 한계를 유지하기 때문에 레이어 […]https://muegge.de/wp-content/uploads/2020/06/image1.png