双等离子线如何为不断增长的市场开辟新天地
在我们的规模上，太阳能仍是一种几乎取之不尽的能源，没有地理限制，尽管它是间断性的。然而，光伏发电一直有其局限性。在表面涂层的反射质量、更经济的太阳能电池板制造方面，仍有改进的余地。此外，当今的快节奏创新对关乎的应用的光伏设计，提出了前所未有的要求。由于双等离子线在表面处理上的独特性能，如您希望比以往更高效的创新，它将是革命性的技术。原因有三：
1. 原因一：优化反射效应
硅太阳能电池的光电转换效率取决于最小化的反射损耗和表面复合度。应用等离子体聚合的SiN薄膜来改善这两种特性——反射效应。比如通过调整减反射涂层的折射率和表面性质，以避免表面复合。
在产生均匀的等离子体方面，MUEGGE的双等离子线技术表现卓著。结合等离子阵列，它适合连续和批式工艺。双等离子线和等离子阵列都能进行高效的热敏感材料表面处理，因为低压下的非平衡微波等离子体的离子能量最低，自由基密度高。
图1：由六个双等离子线构成的等离子体阵列集成于一个工艺腔中，用于低压等离子体沉积太阳能电池制造中的薄膜（德国Meyer Burger公司提供）。
光伏的氮化硅薄膜这些特性至关重要：硬度和化学电阻率是其关键特性。因此，SiN既可以用作绝缘体，也可用作许多工业应用的阻挡层材料。
“这种高度稳定的等离子体工艺为更经济的生产打开了大门，也为不断增长的市场设计光伏应用，提供了全新的可能。”
2. 理由二：让大规模生产更有利可图
如果光伏设备价格能大幅降低——比如生产规模化——则将更有利可图。太阳能薄膜电池的规模化生产中极具意义。玻璃板是CIGS薄膜太阳能组件的最先进基板。它们可以用薄金属箔代替，以降低重量和材料成本。用低压微波等离子体工艺沉积在金属板和CIGS太阳能组件顶部光学层上的聚合物薄膜，代替沉重的玻璃基板和玻璃镀膜。
3. 理由三：以更大的灵活性进入新市场
标准CIGS太阳能组件由单片连接的太阳能电池组成。因此，金属箔必须绝缘。此外，必须设置扩散屏障，防止金属箔的材料杂质和污染物扩散到CIGS中。用薄金属箔作为基底材料的优点是模块的柔性，适合移动应用和可穿戴设备。
图2：柔性金属箔上的单片连接CIGS太阳能组件，中间有等离子沉积扩散层[5-7]。
4. 超越极限：等离子工艺助能您的创新
等离子体沉积聚合物薄膜扩散屏工艺，使经济生产柔性光伏组件的新技术成为可能。此外，等离子体工艺还可用于沉积薄膜非晶硅（a-Si）太阳能电池和微晶硅（µc-Si）太阳能电池，从而将等离子体技术引入新的重要市场。
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参考文献
[1] H. Schlemm, A. Mai, S. Roth, D. Roth, K.-M. Baumgärtner, H. Mügge, Surf. Coat. Technol., 2003, 174-175, 208-211.
[2] M. Troia, M. Walker: Diffusion Barrier Layers. [online] Homepage: University of Stuttgart, Institute of Interfacial Process Engineering and Plasma Technology (IGVP)
URL: https://www.igvp.uni-stuttgart.de/en/research/plasma-technology/processes/diffusion-barrier-layers/ [status: June 16, 2021].
