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等离子区 520 mm x 340 mm

等离子区 520 mm x 340 mm
  • 等离子阵列（大面积）

    货号: MA6000Y-033BC

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    等离子区 520 mm x 340 mm
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    –
    输出功率 [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管
    双
    波导尺寸
    同轴
    电抗器输出量
    ø20 mm x 1,5 mm x 564 mm

    Flächenplasmaquelle

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