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等离子区 797,5 mm x 150 mm

等离子区 797,5 mm x 150 mm
  • 等离子阵列（大面积）

    货号: MA6000Y-023BC

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    等离子区 797,5 mm x 150 mm
     介电材料
    陶瓷
    输出功率 [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管
    双

    Flächenplasmaquelle

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