MUEGGE 产品

  • 等离子阵列(大面积)

    货号: MA4000Y-153BC

    流程
    蚀刻和沉积(涂层)
    输出连接方式
    等离子区 320 mm x 320 mm
     介电材料
    陶瓷
    输出功率 [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管

    Flächenplasmaquelle

  • 等离子阵列(大面积)

    货号: MA6000Y-013BC

    流程
    蚀刻和沉积(涂层)
    输出连接方式
    等离子区 700 mm x 226 mm
     介电材料
    陶瓷
    输出功率 [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管

    Flächenplasmaquelle

  • 等离子阵列(大面积)

    货号: MA6000Y-023BC

    流程
    蚀刻和沉积(涂层)
    输出连接方式
    等离子区 797,5 mm x 150 mm
     介电材料
    陶瓷
    输出功率 [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管

    Flächenplasmaquelle

  • 等离子阵列(大面积)

    货号: MA6000Y-033BC

    流程
    蚀刻和沉积(涂层)
    输出连接方式
    等离子区 520 mm x 340 mm
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    输出功率 [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管
    波导尺寸
    同轴
    电抗器输出量
    ø20 mm x 1,5 mm x 564 mm

    Flächenplasmaquelle