MUEGGE 产品

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  • Atmospheric Plasma Source

    货号: MA075KA-019BF

    流程
     气体/物料转换
    输出连接方式
    others
     介电材料
    石英
    输出功率 [W]
    75000
    Frequency [MHz]
    915
    波导尺寸
    WR975 / R9
    电抗器输出量
    outer ø131 mm. inner ø80 mm
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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    货号: MA1250C-003BC

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    ISO-K63
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    230 / 208
    输出功率 [W]
    1250
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管
    –
    电抗器输出量
    -

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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  • 自由基等离子源（远程等离子源）

    货号: MA3000C-863BB

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    KF40
     介电材料
    蓝宝石
    供电电压[V]
    230 / 208
    输出功率 [W]
    3000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管
    –
    电抗器输出量
    -

    Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)

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