MUEGGE 产品
同轴
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等离子阵列(大面积)
货号: MA4000Y-013BC
流程蚀刻和沉积(涂层)输出连接方式等离子区 320 mm x 320 mm介电材料陶瓷供电电压[V]–输出功率 [W]2000Frequency [MHz]2450气体歧管单波导尺寸同轴电抗器输出量-Flächenplasmaquelle
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等离子阵列(大面积)
货号: MA4000Y-123BC
流程蚀刻和沉积(涂层)输出连接方式等离子区 320 mm x 320 mm介电材料陶瓷供电电压[V]–输出功率 [W]2000Frequency [MHz]2450气体歧管单波导尺寸同轴电抗器输出量-Flächenplasmaquelle
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等离子阵列(大面积)
货号: MA6000Y-033BC
流程蚀刻和沉积(涂层)输出连接方式等离子区 520 mm x 340 mm介电材料陶瓷供电电压[V]–输出功率 [W]2x 3000Frequency [MHz]2450气体歧管双波导尺寸同轴电抗器输出量ø20 mm x 1,5 mm x 564 mmFlächenplasmaquelle