MUEGGE 产品

–

–
  • Down-Streem-Plasma-Source

    货号: MA100KD-013BF

    流程
     气体/物料转换
    输出连接方式
    others
     介电材料
    -
    输出功率 [W]
    100000
    Frequency [MHz]
    915
    波导尺寸
    WR975 / R9
    电抗器输出量
    -
    更多详情
  • Atmospheric Plasma Source

    货号: MA075KA-019BF

    流程
     气体/物料转换
    输出连接方式
    others
     介电材料
    石英
    输出功率 [W]
    75000
    Frequency [MHz]
    915
    波导尺寸
    WR975 / R9
    电抗器输出量
    outer ø131 mm. inner ø80 mm
    更多详情
  • 等离子阵列（大面积）

    货号: MA4000Y-013BC

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    等离子区 320 mm x 320 mm
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    –
    输出功率 [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管
    单
    波导尺寸
    同轴
    电抗器输出量
    -

    Flächenplasmaquelle

    更多详情
  • 等离子阵列（大面积）

    货号: MA4000Y-103BC

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    等离子区 338 mm x 408 mm
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    –
    输出功率 [W]
    2x 2000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管
    单

    Flächenplasmaquelle

    更多详情
  • 等离子阵列（大面积）

    货号: MA4000Y-123BC

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    等离子区 320 mm x 320 mm
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    –
    输出功率 [W]
    2000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管
    单
    波导尺寸
    同轴
    电抗器输出量
    -

    Flächenplasmaquelle

    更多详情
  • 等离子阵列（大面积）

    货号: MA6000Y-033BC

    流程
    蚀刻和沉积（涂层)
    输出连接方式
    等离子区 520 mm x 340 mm
     介电材料
    陶瓷
    供电电压[V]
    –
    输出功率 [W]
    2x 3000
    Frequency [MHz]
    2450
    气体歧管
    双
    波导尺寸
    同轴
    电抗器输出量
    ø20 mm x 1,5 mm x 564 mm

    Flächenplasmaquelle

    更多详情