MUEGGE 产品

480

480
  • 解封装设备

    货号: MA1250D-114BB

    设备型号
    研发/试产设备
    供电电压[V]
    480
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    CF4
    工艺气体 3
    N2
    工艺气体 4
    工艺气体 5
    工艺气体 6
    温度传感器
    腔室尺寸[mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
  • 微波发生器

    货号: MG030KG-511KE

    Frequency [MHz]
    915
    输出功率 [W]
    30000
    接线方式
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    控制回路连接
    供电电压[V]
    480
    辅助电压 [V]
    供电频率[Hz]
    50 / 60
    冷却
    风冷 / 水冷
    脉冲输出功率最大[W]
    前面板/HMI
    接口
    操作单元
    接口
    EtherCAT
    接口
    A/D
    接口
    接口
    宽度 [mm (inch)]
    1206 (47,48)
    高度 [mm (inch)]
    2160 (85,04)
    深度 [mm (inch)]
    805 (31,69)
    保护
    IP54
    输出连接方式
    WR 975
    输出连接
    波导
    隔离器
    没有
    电源技术
    开关式
  • 微波发生器

    货号: MG050KG-511KE

    Frequency [MHz]
    915
    输出功率 [W]
    50000
    接线方式
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    控制回路连接
    供电电压[V]
    480
    辅助电压 [V]
    供电频率[Hz]
    50 / 60
    冷却
    风冷 / 水冷
    脉冲输出功率最大[W]
    前面板/HMI
    接口
    操作单元
    接口
    EtherCAT
    接口
    A/D
    接口
    接口
    宽度 [mm (inch)]
    1206 (47,48)
    高度 [mm (inch)]
    2160 (85,04)
    深度 [mm (inch)]
    805 (31,69)
    保护
    IP54
    输出连接方式
    WR 975
    输出连接
    波导
    隔离器
    没有
    电源技术
    开关式
  • 去胶设备

    货号: MA1250D-118BB

    设备型号
    研发/试产设备
    供电电压[V]
    480
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    N2
    工艺气体 3
    CF4
    工艺气体 4
    N2
    工艺气体 5
    工艺气体 6
    温度传感器
    2
    腔室尺寸[mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
  • 去胶设备

    货号: MA3000D-271BB

    设备型号
    高产能设备
    供电电压[V]
    480
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    CF4
    工艺气体 3
    N2
    工艺气体 4
    O2
    工艺气体 5
    工艺气体 6
    温度传感器
    9
    腔室尺寸[mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
  • 去胶设备

    货号: MA3000D-301BB

    设备型号
    高产能设备
    供电电压[V]
    480
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    CF4
    工艺气体 3
    N2
    工艺气体 4
    工艺气体 5
    工艺气体 6
    温度传感器
    5
    腔室尺寸[mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
  • 电源

    货号: MS015KE-114DG

    Frequency [MHz]
    2450
    输出功率 [W]
    15000
    接线方式
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    控制回路连接
    供电电压[V]
    480
    辅助电压 [V]
    供电频率[Hz]
    50 / 60
    冷却
    风冷
    脉冲输出功率最大[W]
    前面板/HMI
    无前面板
    接口
    RS-232
    接口
    操作单元
    接口
    接口
    接口
    宽度 [mm (inch)]
    806 (31,73)
    高度 [mm (inch)]
    2202 (86,69)
    深度 [mm (inch)]
    676,7 (26,64)
    保护
    IP54
    隔离器
    没有
    电源技术
    线性
  • 电源

    货号: MS100KE-511DE

    Frequency [MHz]
    915
    输出功率 [W]
    100000
    接线方式
    3~ (L1 / L2 / L3 / PE)
    控制回路连接
    供电电压[V]
    480
    辅助电压 [V]
    供电频率[Hz]
    50
    冷却
    空气-水 热交换器
    脉冲输出功率最大[W]
    前面板/HMI
    无前面板
    接口
    A/D
    接口
    操作单元
    接口
    接口
    接口
    宽度 [mm (inch)]
    1206 (47,48)
    高度 [mm (inch)]
    2262 (89,06)
    深度 [mm (inch)]
    1108 (43,62)
    保护
    IP54
    隔离器
    没有
    电源技术
    线性