MUEGGE 产品

CF4

CF4
  • 解封装设备

    货号: MA1250D-114BB

    设备型号
    研发/试产设备
    供电电压[V]
    480
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    CF4
    工艺气体 3
    N2
    工艺气体 4
    工艺气体 5
    工艺气体 6
    温度传感器
    腔室尺寸[mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
  • 去胶设备

    货号: MA1250D-112BB

    设备型号
    研发/试产设备
    供电电压[V]
    400
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    CF4
    工艺气体 3
    N2
    工艺气体 4
    工艺气体 5
    工艺气体 6
    温度传感器
    2
    腔室尺寸[mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
  • 去胶设备

    货号: MA3000D-201BB

    设备型号
    高产能设备
    供电电压[V]
    400
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    CF4
    工艺气体 3
    N2
    工艺气体 4
    O2
    工艺气体 5
    工艺气体 6
    温度传感器
    9
    腔室尺寸[mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
  • 去胶设备

    货号: MA3000D-221BB

    设备型号
    高产能设备
    供电电压[V]
    400
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    CF4
    工艺气体 3
    N2
    工艺气体 4
    工艺气体 5
    工艺气体 6
    温度传感器
    5
    腔室尺寸[mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
  • 去胶设备

    货号: MA3000D-251BB

    设备型号
    高产能设备
    供电电压[V]
    400
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    CF4
    工艺气体 3
    N2
    工艺气体 4
    工艺气体 5
    工艺气体 6
    温度传感器
    9
    腔室尺寸[mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
  • 去胶设备

    货号: MA3000D-271BB

    设备型号
    高产能设备
    供电电压[V]
    480
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    CF4
    工艺气体 3
    N2
    工艺气体 4
    O2
    工艺气体 5
    工艺气体 6
    温度传感器
    9
    腔室尺寸[mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
  • 去胶设备

    货号: MA3000D-291BB

    设备型号
    高产能设备
    供电电压[V]
    400
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    CF4
    工艺气体 3
    N2
    工艺气体 4
    O2
    工艺气体 5
    工艺气体 6
    温度传感器
    9
    腔室尺寸[mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)
  • 去胶设备

    货号: MA3000D-301BB

    设备型号
    高产能设备
    供电电压[V]
    480
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    CF4
    工艺气体 3
    N2
    工艺气体 4
    工艺气体 5
    工艺气体 6
    温度传感器
    5
    腔室尺寸[mm (inch)]
    470 x 470 (18.50 x 18.50)