MUEGGE 产品

CF4

CF4
  • 解封装设备

    货号: MA3000D-211BB

    设备型号
    高产能设备
    供电电压[V]
    400
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 1
    O2
    工艺气体 3
    N2
    工艺气体 4
    CF4
    工艺气体 5
    SF6
    工艺气体 6
    Ar
    温度传感器
    腔室尺寸[mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)