Muegge 제품

플라즈마 부품

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라디칼 플라즈마 소스(원격 플라즈마 소스) (37)
플라즈마 어레이(대면적) (9)
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상압 플라즈마 소스(APS) (2)
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플라즈마 영역 320mm x 320mm (5)
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플라즈마 영역 338 mm x 408 mm (1)
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플라즈마 부품

플라즈마 부품
반도체 기술은 우리가 세상을 보는 방식을 바꾸었습니다. 그러나 플라즈마 처리를 통해 모두를 위한 제품을 만들 수 있었습니다. 고밀도 마이크로웨이브 지원 플라즈마 소스는 전기 전하 및 재료 손상없이 높은 에칭률을 요구하는 에칭 및 코팅 장비에서 가장 잘 작용합니다.

플라즈마 부품 제조업체로서 당사의 선도적인 역할은 최저 구매 비용으로 빠른 시장 진입을 달성하기 위해 시스템을 개발하고 통합하는 데 도움이 될 것입니다. 즉시 사용 가능한 당사의 플라즈마 부품군에는 다양한 제조 도구 및 어플리케이션을 위한 솔루션이 포함됩니다.

산화물 및 질화물 층의 고밀도 증착
대 면적 증착 및 에칭
SU-8 제거
유기물의 선택적 제거
산소 민감 물질 세척 용 비 산화 화학
민감한 표면 (예: 센서) 및 3D 구조의 손상없는 세척
등방성 챔버 세척
LIGA 공정 (리소그래피, 전기 도금 및 성형)