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Plasma-Komponenten

Plasma-Komponenten

PLASMA-KOMPONENTEN

Die Halbleitertechnologie hat unser Weltbild verändert – aber die Plasmabearbeitung ermöglichte es, Produkte für alle zu produzieren. Hochdichte mikrowellen-unterstützte Plasmaquellen performen überlegen in Ätz- und Beschichtungsanlagen, die hohe Etching-Raten ohne elektrische Aufladung oder Beschädigung des Materials erfordern.

Unsere Führungsrolle als Hersteller von Plasmakomponenten hilft Ihnen, Ihre Anlagen zu entwickeln und anzupassen – bei gleichzeitig schnellem Markteintritt und niedrigem CoO. Im Rahmen unserer “schlüsselfertigen” Produktpalette bieten wir Plasmakomponenten für eine Vielzahl von unterschiedlichen Fertigungswerkzeugen und Anwendungen an:

  • Hochdichte Abscheidung von Oxid- und Nitridschichten
  • Großflächiges Abscheiden und Ätzen
  • SU-8 Entfernung
  • Hochselektive Entfernung von organischen Materialien
  • Nicht-oxidierende Chemie zur Reinigung von sauerstoffempfindlichen Materialien (H2-Prozess)
  • Beschädigungsfreie Reinigung von empfindlichen Oberflächen (z.B. Sensoren) und 3D-Strukturen
  • Isotrope Kammerreinigung
  • LIGA-Verfahren (Lithographie, Galvanik und Formgebung)