Muegge Produkte
Plasma-Systeme
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Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA1250D-114BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]480Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-211BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2O2Prozessgas 3N2Prozessgas 4CF4Prozessgas 5SF6Prozessgas 6ArTemperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-241BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2O2Prozessgas 3CF4Prozessgas 4N2H2Prozessgas 5SF6Prozessgas 6N2Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-281BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2N2H2Prozessgas 3CF4Prozessgas 4N2Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-311BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2O2Prozessgas 3N2Prozessgas 4ArProzessgas 5CF4Prozessgas 6SF6Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA0000D-001BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]208Prozessgas 1O2Prozessgas 2N2Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren2Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-110BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]208Prozessgas 1O2Prozessgas 2N2Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren2Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-112BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren2Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65)
PLASMA-SYSTEME
Halbleiterbauelemente sind für Produkte unseres täglichen Lebens unverzichtbar geworden. Niemand möchte sich eine Zukunft ohne sie vorstellen. Die Herstellung dieser Geräte erfordert jedoch hoch entwickelte Anlagen und tiefgreifendes Prozesswissen – und mit fortschreitender Technologie steigen die Herausforderungen an Plasma und an die Steuerung von plasmaunterstützten Anwendungen.
Wir arbeiten eng mit Kunden und Forschungseinrichtungen zusammen, um den Markt zu verstehen und Ihnen optimale Mikrowellen-Lösungen zu bieten – dabei gehen wir über herkömmliche Plasmaansätze hinaus, um Produkte zu entwickeln, die Ihre Ergebnisse und Prozesse entscheidend verbessern. Unsere führende Position als Hersteller von mikrowellen-unterstützten Plasmaprodukten hilft Ihnen, mit maßgeschneiderten Anlagen schneller und kostengünstiger in den Markt einzusteigen:
- SU-8 Entfernung
- Hochselektive Entfernung von organischen Materialien
- Nicht-oxidierende Chemie zur Reinigung von sauerstoffempfindlichen Materialien (H2-Prozess)
- Reinigung von 3D-Strukturen
- Beschädigungsfreie Reinigung von empfindlichen Oberflächen (z.B. Sensoren)
- Isotrope Kammerreinigung
- LIGA-Verfahren (Lithographie, Galvanik und Formgebung)