Muegge Produkte
ISO-K63
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA1250C-003BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeISO-K63Material DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]1250Frequenz [MHz]2450Gasdusche-Reaktor Ausgangsgröße-Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA2000C-133BB
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeISO-K63Material DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA2000C-143BB
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeISO-K63Material DielektrikumSaphirNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA2000C-233BB
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeISO-K63Material DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA2000C-713BB
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeISO-K63Material DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA2000C-753BB
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeISO-K63Material DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA2000C-793BB
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeISO-K63Material DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA2000C-833BB
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeISO-K63Material DielektrikumSaphirNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]3000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)