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Plasmafläche 520 mm x 340 mm

Plasmafläche 520 mm x 340 mm
  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA6000Y-033BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 520 mm x 340 mm
    Material Dielektrikum
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2x 3000
    Frequenz [MHz]
    2450
    Gasdusche
    Zweifach
    Hohlleitergröße
    Coaxial
    Reaktor Ausgangsgröße
    ø20 mm x 1,5 mm x 564 mm

    Flächenplasmaquelle

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