Muegge Produkte

2x 3000

2x 3000
  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA6000Y-013BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 700 mm x 226 mm
    Material Dielektrikum
    Keramik
    Leistung [W]
    2x 3000
    Frequenz [MHz]
    2450
    Gasdusche
    Zweifach

    Flächenplasmaquelle

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    Merkliste
  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA6000Y-023BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 797,5 mm x 150 mm
    Material Dielektrikum
    Keramik
    Leistung [W]
    2x 3000
    Frequenz [MHz]
    2450
    Gasdusche
    Zweifach

    Flächenplasmaquelle

    Mehr Details
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    Merkliste
  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA6000Y-033BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 520 mm x 340 mm
    Material Dielektrikum
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2x 3000
    Frequenz [MHz]
    2450
    Gasdusche
    Zweifach
    Hohlleitergröße
    Coaxial
    Reaktor Ausgangsgröße
    ø20 mm x 1,5 mm x 564 mm

    Flächenplasmaquelle

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    Merkliste
  • Stromversorgung

    Artikelnr.: MP010KG-113TS

    Frequenz [MHz]
    2450
    Leistung [W]
    2x 3000
    Netzanschluss
    3~ (L1 / L2 / L3 / N / PE)
    Netzanschluss Steuerkreis
    -
    Netzspannung [V]
    400
    Netzspannung Steuerkreis [V]
    -
    Netzfrequenz [Hz]
    50
    Kühlung
    Luft
    MW-Leistung Puls maximal [W]
    2x 10000
    Frontplatte (HMI)
    keine Frontplatte
    Kundenschnittstelle
    Profinet
    Kundenschnittstelle 2
    -
    Kundenschnittstelle 3
    -
    Kundenschnittstelle 4
    -
    Kundenschnittstelle 5
    -
    Breite [mm (inch)]
    606 (23,86)
    Höhe [mm (inch)]
    2062 (81,18)
    Tiefe [mm (inch)]
    881 (34,69)
    Schutzklasse
    IP00
    Isolator
    Nein
    Netzteiltechnik
    High-Pulse
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