Muegge Produkte
Keramik
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA6000Y-023BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 797,5 mm x 150 mmMaterial DielektrikumKeramikLeistung [W]2x 3000Frequenz [MHz]2450GasduscheZweifachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA6000Y-033BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 520 mm x 340 mmMaterial DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]-Leistung [W]2x 3000Frequenz [MHz]2450GasduscheZweifachHohlleitergrößeCoaxialReaktor Ausgangsgrößeø20 mm x 1,5 mm x 564 mmFlächenplasmaquelle
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA1250C-003BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeISO-K63Material DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]1250Frequenz [MHz]2450Gasdusche-Reaktor Ausgangsgröße-Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA2000C-083BB
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeKF40Material DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA2000C-123BB
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeKF40Material DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA2000C-133BB
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeISO-K63Material DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA2000C-223BB
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeKF40Material DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
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Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)
Artikelnr.: MA2000C-233BB
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößeISO-K63Material DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]230 / 208Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450Radikalquelle (Remote-Plasma-Quelle)