Muegge Produkte
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Atmosphärische-Plasma-Quelle
Artikelnr.: MA075KA-019BF
ProzessGas- /MaterialtransformationAuskoppelgrößeAndereMaterial DielektrikumQuarzNetzspannung Nominal [V]-Leistung [W]75000Frequenz [MHz]915Gasdusche-HohlleitergrößeWR975 / R9Reaktor Ausgangsgrößeouter ø131 mm. inner ø80 mmAtmosphärische-Plasma-Quelle
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Down-Streem-Plasma-Quelle
Artikelnr.: MA100KD-013BF
ProzessGas- /MaterialtransformationAuskoppelgrößeAndereNetzspannung Nominal [V]-Leistung [W]100000Frequenz [MHz]915HohlleitergrößeWR975 / R9Reaktor Ausgangsgröße-Down-Streem-Plasma-Quelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-013BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 320 mm x 320 mmMaterial DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]-Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450GasduscheEinfachHohlleitergrößeCoaxialReaktor Ausgangsgröße-Flächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-073BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 338 mm x 408 mmMaterial DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]-Leistung [W]2x 2000Frequenz [MHz]2450GasduscheEinfachHohlleitergrößeCoaxialReaktor Ausgangsgröße-Flächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-103BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 338 mm x 408 mmMaterial DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]-Leistung [W]2x 2000Frequenz [MHz]2450GasduscheEinfachFlächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA4000Y-123BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 320 mm x 320 mmMaterial DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]-Leistung [W]2000Frequenz [MHz]2450GasduscheEinfachHohlleitergrößeCoaxialReaktor Ausgangsgröße-Flächenplasmaquelle
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Flächenplasmaquelle
Artikelnr.: MA6000Y-033BC
ProzessÄtzen & Abscheiden (Beschichten)AuskoppelgrößePlasmafläche 520 mm x 340 mmMaterial DielektrikumKeramikNetzspannung Nominal [V]-Leistung [W]2x 3000Frequenz [MHz]2450GasduscheZweifachHohlleitergrößeCoaxialReaktor Ausgangsgrößeø20 mm x 1,5 mm x 564 mmFlächenplasmaquelle