Muegge Produkte

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  • Atmosphärische-Plasma-Quelle

    Artikelnr.: MA075KA-019BF

    Prozess
    Gas- /Materialtransformation
    Auskoppelgröße
    Andere
    Material Dielektrikum
    Quarz
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    75000
    Frequenz [MHz]
    915
    Gasdusche
    -
    Hohlleitergröße
    WR975 / R9
    Reaktor Ausgangsgröße
    outer ø131 mm. inner ø80 mm

    Atmosphärische-Plasma-Quelle

  • Down-Streem-Plasma-Quelle

    Artikelnr.: MA100KD-013BF

    Prozess
    Gas- /Materialtransformation
    Auskoppelgröße
    Andere
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    100000
    Frequenz [MHz]
    915
    Hohlleitergröße
    WR975 / R9
    Reaktor Ausgangsgröße
    -

    Down-Streem-Plasma-Quelle

  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-013BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 320 mm x 320 mm
    Material Dielektrikum
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2000
    Frequenz [MHz]
    2450
    Gasdusche
    Einfach
    Hohlleitergröße
    Coaxial
    Reaktor Ausgangsgröße
    -

    Flächenplasmaquelle

  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-073BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 338 mm x 408 mm
    Material Dielektrikum
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2x 2000
    Frequenz [MHz]
    2450
    Gasdusche
    Einfach
    Hohlleitergröße
    Coaxial
    Reaktor Ausgangsgröße
    -

    Flächenplasmaquelle

  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-103BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 338 mm x 408 mm
    Material Dielektrikum
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2x 2000
    Frequenz [MHz]
    2450
    Gasdusche
    Einfach

    Flächenplasmaquelle

  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA4000Y-123BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 320 mm x 320 mm
    Material Dielektrikum
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2000
    Frequenz [MHz]
    2450
    Gasdusche
    Einfach
    Hohlleitergröße
    Coaxial
    Reaktor Ausgangsgröße
    -

    Flächenplasmaquelle

  • Flächenplasmaquelle

    Artikelnr.: MA6000Y-033BC

    Prozess
    Ätzen & Abscheiden (Beschichten)
    Auskoppelgröße
    Plasmafläche 520 mm x 340 mm
    Material Dielektrikum
    Keramik
    Netzspannung Nominal [V]
    -
    Leistung [W]
    2x 3000
    Frequenz [MHz]
    2450
    Gasdusche
    Zweifach
    Hohlleitergröße
    Coaxial
    Reaktor Ausgangsgröße
    ø20 mm x 1,5 mm x 564 mm

    Flächenplasmaquelle