Muegge Produkte
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Decapsulation-ToolArtikelnr.: MA3000D-211BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2O2Prozessgas 3N2Prozessgas 4CF4Prozessgas 5SF6Prozessgas 6ArTemperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-241BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2O2Prozessgas 3CF4Prozessgas 4N2H2Prozessgas 5SF6Prozessgas 6N2Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-281BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2N2H2Prozessgas 3CF4Prozessgas 4N2Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-311BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2O2Prozessgas 3N2Prozessgas 4ArProzessgas 5CF4Prozessgas 6SF6Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
GeneratorArtikelnr.: MG075KI-501DL
Frequenz [MHz]915Leistung [W]75000Netzanschluss3~ (L1 / L2 / L3 / PE)Netzanschluss Steuerkreis-Netzspannung [V]400Netzspannung Steuerkreis [V]-Netzfrequenz [Hz]50KühlungWasserMW-Leistung Puls maximal [W]-Frontplatte (HMI)BedienteilKundenschnittstelleCan-BusKundenschnittstelle 2A/DKundenschnittstelle 3BedienteilKundenschnittstelle 4-Kundenschnittstelle 5-Breite [mm (inch)]1219 (47,99)Höhe [mm (inch)]2176 (85,67)Tiefe [mm (inch)]1524 (60)SchutzklasseIP40AuskoppelgrößeWR 975AuskoppelartHohlleiterIsolatorJaNetzteiltechnikLinear -
GeneratorArtikelnr.: MG050KI-522DL
Frequenz [MHz]915Leistung [W]50000Netzanschluss3~ (L1 / L2 / L3 / PE)Netzanschluss Steuerkreis-Netzspannung [V]400Netzspannung Steuerkreis [V]-Netzfrequenz [Hz]50 / 60KühlungWasserMW-Leistung Puls maximal [W]-Frontplatte (HMI)Bedienteil mit HauptschalterKundenschnittstelleModbusKundenschnittstelle 2BedienteilKundenschnittstelle 3A/DKundenschnittstelle 4-Kundenschnittstelle 5-Breite [mm (inch)]800 (31,50)Höhe [mm (inch)]2200 (86,62)Tiefe [mm (inch)]1200 (47,25)SchutzklasseIP54AuskoppelgrößeWR 975AuskoppelartHohlleiterIsolatorNeinNetzteiltechnikSwitch-Mode -
Generator
Artikelnr.: MG050KI-542DL
Frequenz [MHz]915Leistung [W]50000Netzanschluss3~ (L1 / L2 / L3 / PE)Netzanschluss Steuerkreis-Netzspannung [V]400Netzspannung Steuerkreis [V]-Netzfrequenz [Hz]50 / 60KühlungWasserMW-Leistung Puls maximal [W]-Frontplatte (HMI)Bedienteil mit HauptschalterKundenschnittstelleCan-BusKundenschnittstelle 2DisplayKundenschnittstelle 3A/DKundenschnittstelle 4-Kundenschnittstelle 5-Breite [mm (inch)]800 (31,50)Höhe [mm (inch)]2200 (86,62)Tiefe [mm (inch)]1200 (47,25)SchutzklasseIP54AuskoppelgrößeWR 975AuskoppelartHohlleiterIsolatorNeinNetzteiltechnikSwitch-Mode -
Stripping-ToolArtikelnr.: MA1250D-112BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren2Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65)
