Muegge Produkte
480
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Decapsulation-ToolArtikelnr.: MA1250D-114BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]480Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
GeneratorArtikelnr.: MG030KG-511KE
Frequenz [MHz]915Leistung [W]30000Netzanschluss3~ (L1 / L2 / L3 / PE)Netzanschluss Steuerkreis-Netzspannung [V]480Netzspannung Steuerkreis [V]-Netzfrequenz [Hz]50 / 60KühlungLuft / WasserMW-Leistung Puls maximal [W]-Frontplatte (HMI)-KundenschnittstelleBedienteilKundenschnittstelle 2EtherCATKundenschnittstelle 3A/DKundenschnittstelle 4-Kundenschnittstelle 5-Breite [mm (inch)]1206 (47,48)Höhe [mm (inch)]2160 (85,04)Tiefe [mm (inch)]805 (31,69)SchutzklasseIP54AuskoppelgrößeWR 975AuskoppelartHohlleiterIsolatorNeinNetzteiltechnikSwitch-Mode -
Generator
Artikelnr.: MG050KG-511KE
Frequenz [MHz]915Leistung [W]50000Netzanschluss3~ (L1 / L2 / L3 / PE)Netzanschluss Steuerkreis-Netzspannung [V]480Netzspannung Steuerkreis [V]-Netzfrequenz [Hz]50 / 60KühlungLuft / WasserMW-Leistung Puls maximal [W]-Frontplatte (HMI)-KundenschnittstelleBedienteilKundenschnittstelle 2EtherCATKundenschnittstelle 3A/DKundenschnittstelle 4-Kundenschnittstelle 5-Breite [mm (inch)]1206 (47,48)Höhe [mm (inch)]2160 (85,04)Tiefe [mm (inch)]805 (31,69)SchutzklasseIP54AuskoppelgrößeWR 975AuskoppelartHohlleiterIsolatorNeinNetzteiltechnikSwitch-Mode -
Generator
Artikelnr.: MG050KG-514KE
Frequenz [MHz]915Leistung [W]50000Netzanschluss3~ (L1 / L2 / L3 / PE)Netzanschluss Steuerkreis-Netzspannung [V]480Netzspannung Steuerkreis [V]-Netzfrequenz [Hz]50 / 60KühlungLuft / WasserMW-Leistung Puls maximal [W]-Frontplatte (HMI)-KundenschnittstelleBedienteilKundenschnittstelle 2EtherCATKundenschnittstelle 3A/DKundenschnittstelle 4-Kundenschnittstelle 5-Breite [mm (inch)]1206 (47,48)Höhe [mm (inch)]2160 (85,04)Tiefe [mm (inch)]805 (31,69)SchutzklasseIP54AuskoppelgrößeWR 975AuskoppelartHohlleiterIsolatorNeinNetzteiltechnikSwitch-Mode -
GeneratorArtikelnr.: MG050KI-523DL
Frequenz [MHz]915Leistung [W]50000Netzanschluss3~ (L1 / L2 / L3 / PE)Netzanschluss Steuerkreis-Netzspannung [V]480Netzspannung Steuerkreis [V]-Netzfrequenz [Hz]50 / 60KühlungWasserMW-Leistung Puls maximal [W]-Frontplatte (HMI)Bedienteil mit HauptschalterKundenschnittstelleModbusKundenschnittstelle 2BedienteilKundenschnittstelle 3A/DKundenschnittstelle 4-Kundenschnittstelle 5-Breite [mm (inch)]800 (31,50)Höhe [mm (inch)]2200 (86,62)Tiefe [mm (inch)]1200 (47,25)SchutzklasseIP54AuskoppelgrößeWR 975AuskoppelartHohlleiterIsolatorNeinNetzteiltechnikSwitch-Mode -
Generator
Artikelnr.: MG050KI-543DL
Frequenz [MHz]915Leistung [W]50000Netzanschluss3~ (L1 / L2 / L3 / PE)Netzanschluss Steuerkreis-Netzspannung [V]480Netzspannung Steuerkreis [V]-Netzfrequenz [Hz]50 / 60KühlungWasserMW-Leistung Puls maximal [W]-Frontplatte (HMI)Bedienteil mit HauptschalterKundenschnittstelleModbusKundenschnittstelle 2BedienteilKundenschnittstelle 3A/DKundenschnittstelle 4-Kundenschnittstelle 5-Breite [mm (inch)]800 (31,50)Höhe [mm (inch)]2200 (86,62)Tiefe [mm (inch)]1200 (47,25)SchutzklasseIP54AuskoppelgrößeWR 975AuskoppelartHohlleiterIsolatorNeinNetzteiltechnikSwitch-Mode -
Stripping-ToolArtikelnr.: MA1250D-118BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]480Prozessgas 1O2Prozessgas 2N2Prozessgas 3CF4Prozessgas 4N2Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren2Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-ToolArtikelnr.: MA3000D-271BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]480Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4O2Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren9Arbeitsplattengröße [mm (inch)]470 x 470 (18.50 x 18.50)
