Muegge Produkte
Plasma-Systeme
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Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-115BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]208Prozessgas 1O2Prozessgas 2N2Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren2Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-117BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2N2Prozessgas 3CF4Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren2Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-118BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]480Prozessgas 1O2Prozessgas 2N2Prozessgas 3CF4Prozessgas 4N2Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren2Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-201BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4O2Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren9Arbeitsplattengröße [mm (inch)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-221BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren5Arbeitsplattengröße [mm (inch)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-251BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren9Arbeitsplattengröße [mm (inch)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-271BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]480Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4O2Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren9Arbeitsplattengröße [mm (inch)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-291BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4O2Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren9Arbeitsplattengröße [mm (inch)]470 x 470 (18.50 x 18.50)
PLASMA-SYSTEME
Halbleiterbauelemente sind für Produkte unseres täglichen Lebens unverzichtbar geworden. Niemand möchte sich eine Zukunft ohne sie vorstellen. Die Herstellung dieser Geräte erfordert jedoch hoch entwickelte Anlagen und tiefgreifendes Prozesswissen – und mit fortschreitender Technologie steigen die Herausforderungen an Plasma und an die Steuerung von plasmaunterstützten Anwendungen.
Wir arbeiten eng mit Kunden und Forschungseinrichtungen zusammen, um den Markt zu verstehen und Ihnen optimale Mikrowellen-Lösungen zu bieten – dabei gehen wir über herkömmliche Plasmaansätze hinaus, um Produkte zu entwickeln, die Ihre Ergebnisse und Prozesse entscheidend verbessern. Unsere führende Position als Hersteller von mikrowellen-unterstützten Plasmaprodukten hilft Ihnen, mit maßgeschneiderten Anlagen schneller und kostengünstiger in den Markt einzusteigen:
- SU-8 Entfernung
- Hochselektive Entfernung von organischen Materialien
- Nicht-oxidierende Chemie zur Reinigung von sauerstoffempfindlichen Materialien (H2-Prozess)
- Reinigung von 3D-Strukturen
- Beschädigungsfreie Reinigung von empfindlichen Oberflächen (z.B. Sensoren)
- Isotrope Kammerreinigung
- LIGA-Verfahren (Lithographie, Galvanik und Formgebung)