Muegge Produkte
O2
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Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA1250D-114BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]480Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-211BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2O2Prozessgas 3N2Prozessgas 4CF4Prozessgas 5SF6Prozessgas 6ArTemperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-241BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2O2Prozessgas 3CF4Prozessgas 4N2H2Prozessgas 5SF6Prozessgas 6N2Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-281BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2N2H2Prozessgas 3CF4Prozessgas 4N2Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA3000D-311BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2O2Prozessgas 3N2Prozessgas 4ArProzessgas 5CF4Prozessgas 6SF6Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]320 x 320 (12.60 x 12.60) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA0000D-001BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]208Prozessgas 1O2Prozessgas 2N2Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren2Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-110BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]208Prozessgas 1O2Prozessgas 2N2Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren2Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-112BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren2Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65)