Muegge Produkte
CF4
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Decapsulation-Tool
Artikelnr.: MA1250D-114BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]480Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren-Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA1250D-112BB
BauartR&D / Pilot Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren2Arbeitsplattengröße [mm (inch)]245 x 245 (9.65 x 9.65) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-201BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4O2Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren9Arbeitsplattengröße [mm (inch)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-221BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren5Arbeitsplattengröße [mm (inch)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-251BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren9Arbeitsplattengröße [mm (inch)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-271BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]480Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4O2Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren9Arbeitsplattengröße [mm (inch)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-291BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]400Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4O2Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren9Arbeitsplattengröße [mm (inch)]470 x 470 (18.50 x 18.50) -
Stripping-Tool
Artikelnr.: MA3000D-301BB
BauartHigh Volume Production ToolNetzspannung [V]480Prozessgas 1O2Prozessgas 2CF4Prozessgas 3N2Prozessgas 4-Prozessgas 5-Prozessgas 6-Temperatursensoren5Arbeitsplattengröße [mm (inch)]470 x 470 (18.50 x 18.50)