Muegge Produkte

CF4

CF4
  • Decapsulation-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-241BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    O2
    Prozessgas 3
    CF4
    Prozessgas 4
    N2H2
    Prozessgas 5
    SF6
    Prozessgas 6
    N2
    Temperatursensoren
    -
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
    MerklisteBereits auf der Merkliste
    Merkliste
  • Decapsulation-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-281BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    N2H2
    Prozessgas 3
    CF4
    Prozessgas 4
    N2
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    -
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
    MerklisteBereits auf der Merkliste
    Merkliste
  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA1250D-117BB

    Bauart
    R&D / Pilot Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    N2
    Prozessgas 3
    CF4
    Prozessgas 4
    -
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    2
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details
    MerklisteBereits auf der Merkliste
    Merkliste
  • Stripping-Tool

    Artikelnr.: MA1250D-118BB

    Bauart
    R&D / Pilot Production Tool
    Netzspannung [V]
    480
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    N2
    Prozessgas 3
    CF4
    Prozessgas 4
    N2
    Prozessgas 5
    -
    Prozessgas 6
    -
    Temperatursensoren
    2
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    245 x 245 (9.65 x 9.65)
    Mehr Details
    MerklisteBereits auf der Merkliste
    Merkliste