Muegge Produkte

CF4

CF4
  • Decapsulation-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-211BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    O2
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    CF4
    Prozessgas 5
    SF6
    Prozessgas 6
    Ar
    Temperatursensoren
    -
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
    Mehr Details
    MerklisteBereits auf der Merkliste
    Merkliste