Muegge Produkte

CF4

CF4
  • Decapsulation-Tool

    Artikelnr.: MA3000D-311BB

    Bauart
    High Volume Production Tool
    Netzspannung [V]
    400
    Prozessgas 1
    O2
    Prozessgas 2
    O2
    Prozessgas 3
    N2
    Prozessgas 4
    Ar
    Prozessgas 5
    CF4
    Prozessgas 6
    SF6
    Temperatursensoren
    -
    Arbeitsplattengröße [mm (inch)]
    320 x 320 (12.60 x 12.60)
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